温场设备术语词典

HEPA 高效过滤器用于捕集空气中的细微颗粒，是洁净烘箱和无尘热处理设备的核心部件。它可降低腔体循环空气中的颗粒污染风险，保护光电、半导体和医疗器械样件。高温环境下还需关注滤材耐温等级和密封可靠性。

H14 是高效空气过滤器等级之一，通常用于对颗粒控制要求较高的洁净设备。配置 H14 耐高温过滤器的洁净烘箱可在热处理过程中持续控制微尘污染。选型时应同时关注过滤效率、耐温能力和维护更换周期。