温场设备术语词典

Class 100 是传统洁净度等级表达，表示单位体积空气中允许的颗粒数量受严格限制。对于精密光电、半导体材料和医疗器械，Class 100 级洁净环境可降低颗粒缺陷。洁净烘箱需要通过过滤、密封和循环风道维持该级别的腔内环境。