温场设备术语词典

工艺窗口是能够稳定获得合格结果的一组参数范围，包括温度、时间、真空度、氧含量、压力和气流等。窗口越清晰，量产一致性和问题追溯越容易。设备选型和工艺验证应围绕真实工艺窗口展开，而不只看单项极限参数。